多线切割机要保证切出的晶片的精度达到以上要求,其罗拉主轴系统的设计和制造技术是关键,主要体现在: 1)罗拉轴组件上的超高分子聚乙烯罗拉的线槽槽距尺寸精度确定了钢线的线间距,从而影响被切割晶片的厚度尺寸。 2)罗拉轴组件的制造和装配精度,尤其是罗拉轴组件的轴向窜动和径向跳动,影响到罗拉轴运动的平稳性,因罗拉轴的窜动和跳动会直接影响晶片的厚度尺寸和表面质量。 3)罗拉轴系统在长时间的切割过程中因热胀冷缩而发生轴向位移变动,直接影响了切割片的厚度和形状精度。因此,需要实时控制罗拉轴和切割区的沮升,保持恒沮状态。 因此,罗拉轴系统的设计和制造工艺是多线切割机床研发的技术关键。如图1所示,为一种三轴结构的多线切割机床罗拉轴的实物图. |